KRI 霍尔离子源 eH 3000
上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH 3000 , KRI 霍尔离子源 eH 系列里面尺寸最大, 能量最大的离子源. 适用于高功率和高流量应用. 霍尔离子源 eH 3000 输出高离子电流, 适用于大型离子辅助镀膜. 例如安装在沉积尺寸超过 1米的应用. 霍尔离子源 eH 3000 是镀膜生产中最具高效的离子源之一.
KRI 霍尔离子源 eH 3000 技术参数:

KRI 霍尔离子源 eH 3000 应用领域：
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
直接沉积 DD

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201206
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