自准直仪测量精度-高度计可分辨高度约为微米

  自准直仪法测角
  大于10°的角度是量角器可以区分的物理角度，其测量精度可
以达到约15弧分；对于小于2弧分的角度．是干涉仪可以区分的光
束偏离角．其测量精度为0．1弧秒。高度计可分辨的高度约为2μm
。几种测量仪之间的缺口部分可由
  来填补?；诮咕嗪吞讲馄鳎宰贾币堑姆直媛士梢源?0到0
．05弧秒，测量范围从几度到几分。
  多数自准直仪是反射式读取，这意味着读取的是表面反射角度
．而非(翻倍的)反射镜偏转角度。折射和多次反射改变了这一比例
因子。
  在操作中，自准直仪是面向测试或参考对象的，返回光线的位
置是可对比的。这里有两种基本模式：自身比较和参照对比。对于
平行平板或小楔角，前表面和后表面的返回光线可作比较；对于相
差180。(7c弧度)的情况，以顺时针和逆时针返回光线进行比较；
对于任意角度的情况．则需要一个参考件。

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