KRI 离子源 EH 1020 F 产品优点：
?EH 1020 F 使用更大功率之阳极电源控制器，可提供更高的离子束电流，以增加更大的使用范围。相较其它同型离子源，增加20%的离子束电流，及40%的阴极电压。
?模组化的设计，随插即用。容易维护，体积缩小30%。
?低温制程。
?更宽的离子束使用范围，适用于大型镀膜机。
?整合型的电源控制器。
KRI 离子源 EH 1020F 耐久磁性离子源 (灯丝型)的特点
?无栅极设计, 针对低能量制程
?单一灯丝, 针对离子化和中和性设计
?阳极模组化设计
?不锈钢, 相对阳极
?不锈钢与石墨材质气体反射器
?MFC气体质流量控制器
?直径英制一吋bolt-type feedthroughs两组1. 3-conductor electrical feedthrough
?18吋长 in-vacuum electrical cable 2. 1/4 吋 OD gas tubing feedthrough
?18吋长 in-vacuum flex gas line
?EH 1000F 电源供应器/控制器与读取装置
?Front panel 监控系统
?Soft-start 阴极
?900 Watt, 灯丝电源与发射控制器
?阳极8A, 300V , 可调整范围 50-300V
?限定电流式电路?；ぷ爸?br> ?离子束自动中和装置
?规格: 200/240V, 20A, 单向, 50/60Hz
?20尺长, 外部电源供应器连接线
?备用灯丝(10支)
?离子源安装托架
[选购]
?阳极式水冷组

?KRI 离子源 EH1020 F 离子能量分布

 

KRI 霍尔离子源 eH 1000 技术参数: