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白光干涉+共聚焦形貌仪概述

        先进的Rtec 白光干涉+共聚焦形貌仪已经彻底改变了光学轮廓仪。 在加利福尼亚硅谷制造。 它被多个知名实验室，大学和行业使用。UP-24在一个头上独特地组合了4种成像模式。 单击按钮，成像模式会发生变化。 这种组合可以轻松地对任何表面进行成像 如 透明，平坦，黑暗，扁平，弯曲等。每种成像模式都具有优势，并且所有技术彼此互补。

3D光学轮廓仪组合

          ●白光干涉仪

        ●旋转盘共聚焦显微镜 

        ●暗视野显微镜

        ●明视野显微镜 

主要平台规格

        产品规格

        ●标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）

        ●标准转塔，电动转塔可选

        ●垂直范围可达100mm

        ●倾斜阶段6度

        ●XY舞台分辨率0.1um

        ●自动拼接楷模

        ●Sigma头 - 仅限白光干涉仪

        ●Lambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场

        应用

        ●粗糙度  ●体积磨损   ●台阶高度   ●薄膜厚度   ●形貌

测试图像示例

              DLC涂层球                                 粗糙涂层表面                                     圆球磨斑

                  金刚石                                         生物膜                                         微流体通道

            聚合物涂层                                       墨痕                                               硬币

            研磨垫                                       铝的失效痕迹                                   划痕

      涂层失效痕迹                                       芯片通道                                       晶圆

        以上为双模式三维表面形貌仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。 该表面光度仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面形貌仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

        共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的配置。

参数说明

可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (zui大斜率 干涉测量 : 72o vs 44o) 。

具有光学形貌上zui高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的zui佳配置。

在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%- 100%)

 应用于透明层/薄膜。

兼容亮视野 暗视野; 光学DIC。

长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

 独有的稳定性。