VEGA3扫描电子显微镜是 TESCAN 公司推出的第一款扫描电子显微镜系列，经过 16 年的不断研发改进，如今已是成熟的第三代产品。历经多年市场考验，VEGA 已被证实具备非常优异的可靠性及性能优势，并帮助 TESCAN 在带电粒子光学领域奠定了地位。

VEGA3扫描电子显微镜是一款功能强大的电子显微镜系统，可支持高 低真空环境操作，并为用户提供优势技术。如提高图像采集速度的高性能电子设备、静态和动态图像畸变补偿的超快扫描系统、用户自定义的应用程序脚本等。此外，由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，因而可以快速简单地得到干净的真空样品室。VEGA3 有四种样品室可供选择：SB、LM、XM 和 GM，样品室配备多种接口，为 EDS、WDS 和 EBSD 分析附件的安装设计了几何结构。VEGA 系列产品一直保持着非常高的性价比，可满足当今科研及工业的扫描电镜应用需求。

 

突出特点四透镜大视野（Wide Field Optics ) 设计、专有的中间镜（IML）电子束优化功能，并可提供多种工作模式和显示模式；中间镜设计（IML），采用电磁的方式改变物镜光阑 中间镜的作用如同连续可调的光阑；结合了电子光学设计的实时电子束追踪技术（In-Flight Beam Tracing ) 可模拟和进行束斑优化；无需任何机械对中的镜筒设计，使光路合轴和校准完全自动化；可实现高通量、大面积自动化检测，如自动颗粒分布和分析；配有经过计算机优化、马达驱动的全自动优中心样品台(compucentric stage)有利于 EDS、WDS、EBSD 分析的理想几何设计，无畸变的 EBSD 工作模式；强力涡沦分子泵和机械泵，可快速简单地得到干净的真空样品室；全自动化显微镜设置，包括电子光学设置和对齐；用于 SEM 操控、图像采集、归档、处理及分析的专业软件；支持多语言多用户环境；网络操作和内置的远程控制/诊断功能；采用 3D 电子束技术（3D Beam Technology ）可获得实时立体成像。