精密零件测量显微镜- 测的最小特征宽 是3.7 μm

扫瞄轨迹角 γ 即是微特征的斜面角 β。否则所扫瞄出的轨迹角 将会是探针角锥斜面角
特征宽 必须大于探针圆球横截面宽时，即特征宽 W，探针半径R与顶角θ需满足(2)，
才可 测特征宽 ，其辨 误差将受探针半径影响。受限于探针顶部半径R与特征宽 W，此
时所能扫瞄的最大特征深 如，因此 测V沟时，探针将无法下 至V沟尖端。本研究所
使用的为半径2 μm顶角45°的探针，

依符合推测可 测的最小特征宽 是3.7 μm，而所能 测的最大特征角 是67.5°?？?塑胶成形限制，
一般V沟宽 会大于10 μm 但在 测导光
板V沟时，除非在V沟底部采用截顶的设计，且深 小于式的值，否则仍无法正确 出成形转写高