表面粗糙度测量仪器研发，提升表面粗糙度分析与检测技术能力，
以及相关应用技术之推展。

先进的表面粗糙度分析及量测技术，并确认与推展符合未来市场需求之表面粗糙度标准，

相关应用开发

微、纳米表面粗糙度
粗糙度量测设备与方法
表面粗糙度校正与追溯
原子力显微术、探针扫描式显微术
磨润学与磨耗
接触式或光学式表面粗度量测仪器
半导体线宽与边缘粗糙度
表面粗糙度之其他应用