(版权由上海光学仪器厂所有, 未经允许禁止复制,转载注明我厂网址http://www.sgaaa.com)
电子产品元件晶体和导线尺寸检测显微镜
科技上有不少革命性的发展与突破,其中最明显是科技发展已经迈入纳米尺度的领域,
在许多的科技应用中,所有的结构与元件的大小,都是朝向“纳米”尺度前进,
也就是朝向“小”来发展。以我们现在所用
的电子产品中元件结构为例,电晶体和导线尺寸都已缩小到0.25 μm(百万分之一米)
以下,甚至已经到达0.09 μm;在视觉检测方面,人类的视觉只能观察到100 μm 大
小,至于肉眼看不到的事物,可以利用一些放大功能的工具如工业放大镜,立体显微镜
其倍率为数倍,乃至二、三十倍,至几百本 最小极限约可以看到5 至10 μm,如果要进行更细微的观
察,就要应用专业显微镜。依照显微镜的成像原理,大至可分为光学显微镜及电子显微镜,
不过这两种显微镜还是有极限, 光学显微镜最小极限可以看到0.2 μm,也就是200 nm,电子显微镜最小极限可以看到2 nm