工具显微镜的测量精度大致在3微米左右-测量光学仪器

最近工具显微镜的性能，在以下几点有所改进，或有明显的改进趋势。

(1)测量精度的提高:

探讨长度的测量精度，从过去的基准精度一般因为满足不了阿贝原理，
精度因被测表面高度而有变化，所以普通以工作台载物台表面的精度
作为基准，把它叫作基准精度)。

5微米大致提高到3微米，测量的最小刻度也按照精度从过去的10微米降
到5微米左右。

(2)测量范围的扩大:
过去工具显微镜十字运动工作台的移动量，一般是:大型显微镜左右移
动量为150毫米，前后移动量为50毫米，小型的移动量，一般最大的左
右移动量为75毫米，前后为25毫米左右。

它的移动范围已被扩大，测量的尺寸范围也已扩大。

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