形状和表面粗糙度测量仪-光学轮廓仪的应用简介

  超精密形状和表面粗糙度测量仪的开发在超精密加工工件表
面粗糙度的测量分析中。高分辨率的表面测量是必不可少的，对
于高分辨率的表面形状测量仪器，测量时触针的振动范围是一个
非常重要的参数。如果触针振动量越大，就更难以保证高的分辨
率。

  测量仪和测量的设定误差在进行产品的加工过程中。由加工
设备产生的误差是不能完全避免的。因此，在进行高精度的测量
时，正确掌握测量误差的产生来源是非常重要的，只有这样才能
得到真正的测量值，如前面所述的触针前端形状误差等。

  测量结果的利用精密测量结果对超精密加工具有非常重要的
意义。以非球面镜片模具的呻吟工为例，其加工过程在整个加工
过程中，对非球面模具的测量是非常重要的一项工作。从整个加
工流程来看，非球面模具的面形精度势必奖影响最后的产品精度。
  前次测量的结果需要下次测量中考虑。

  光学轮廓仪光学聚集传感器一大类称为光学轮廓仪的设备取
代了使用机械探针的接触式轮廓测量仪。这种设备利用光学聚集
传感器来实现轮廓测量。

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