成果名称

Mini ? ?扫描隧道显微镜系统研制

单位名称

中科院物理研究所

联系人

郇庆

联系邮箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

□正在研发 √已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产

合作方式

√技术转让 ??√技术入股 ? □合作开发? √其他

成果简介：
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? ? 这是一款工作在超高真空环境下的扫描隧道显微镜（STM）系统，具备样品的退火和溅射清理功能，并可以在原位情况下沉积各种有机/无机材料。可在从液氦温区（<10K）到室温范围内工作，降温/升温速度快,特别适合材料及相关研究人员快速表征样品。同时，该系统具有很好的稳定性，具备稳定的原子分辨能力并可获得一阶和二阶电流微分谱，经扩展后可具备与光路连结的可能和AFM功能。其主要技术指标为：
? ? ?背景气压：≤ 1x10-10Torr
? ? ?工作温度范围：8K~350K
? ? ?原位沉积:? 是
? ? ?扫描范围：
? ? ?4.0μmx4.0μmx0.6μm @ RT
? ? ?1.0μmx1.0μmx0.15μm @ 8K
? ? ?分辨率：原子分辨?
? ? ?灵敏度：
? ? ?XY: ≤200?/V?? Z:≤30?/V @ RT
? ? ?XY: ≤ 50?/V?? Z:≤ 7.5?/V @ 8K
? ? ?恒温器类型：连续流
? ? ?降温时间（室温至≤10K）： ~2小时

应用前景：
? ? ?纳米表征和研究的重要工具，国内每年需求量在数十台。

知识产权及项目获奖情况：
? ? ?201510468456.5
? ? ?发明专利：200810114537.5和201410165949.7