分别针对不同使用用途的水质，决定其电阻率值、TOC值、与必要的流量，从所使用的供给水到所要获得的水质来选择合适的超纯水制造系统。并基于前述条件，将符合使用者要求的超纯水系统的机能与性能加以文件化。 Ⅱ. 安装验证(Installation Qualification，IQ) 组装时应纪录系统的功能与性能。同时，为了对系统识别，包括系统的原有型号与所使用的管匣类的型号都应该完整纪录。最后，对于所要求的系统种类、是否在正确的环境中进行系统运作，都应加以确认，并对设置场所等的信息加以纪录。 Ⅲ. 操作验证(Operation Qualification，OQ) 对机器的性能与机能是否符合当初DQ设计进行确认，并加以纪录。具体而言，包括电子回路的正?；堋⑽露扔氲缱杪手党龇段钡木ㄆ舳?、纯化管匣寿命结束时的警报启动等。此外，为了确认温度与电阻率值是否正确，应进行校正工作并加以纪录。定期执行一连串的OQ，来确认当初DQ所设定的系统性能与使用中的系统性能是否相符。 Ⅳ. 性能验证(Performance Qualification，PQ) 进行系统的管理与系统性能的日常试验。对于DQ所设定的电阻率值、TOC值、流量等项目加以纪录。此外，对细菌数、内毒素与其它必要水质管理项目，应按规定进行试验并加以纪录。
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