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简介

ISO14644-1

通过颗粒物浓度对空气洁净度进行分类

2015

涵盖洁净室及其相关受控环境中的空气洁净度分类

ISO14644-2

监测通过颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据

2015

监控和定期测试洁净室或洁净区的要求，以证明其继续符合ISO14644-1

ISO14644-3

测试方法

2005

用于表征洁净室和洁净区性能的空气颗粒洁净度分类的测试方法

ISO14644-4

设计、建造和启动

2001

洁净室安装的设计和构造要求

ISO14644-5

运营

2004

洁净室运行的基本要求

ISO14644-7

分离装置（清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境）

2004

分离设备的设计、构造、安装、测试和批准的最低要求

ISO14644-8

按化学物浓度（ACC）分类的空气洁净度

2013

涵盖洁净室及其相关受控环境中气态分子污染物（AMC）的分类

ISO14644-9

通过颗粒物浓度对表面清洁度进行分类

2012

通过洁净室及其相关受控环境中的颗粒物浓度确定固体表面洁净度等级的分类

ISO14644-10

按化学物浓度对表面清洁度进行分类

2013

根据化学化合物或元素的存在情况定义洁净室表面洁净度的分类系统

ISO14644-12

通过纳米级颗粒浓度监测空气洁净度的指南

2018

根据悬浮纳米级颗粒物浓度的空气洁净度的监测

ISO14644-13

对表面进行清洁以便达到规定的颗粒物和化学物洁净度

2017

用清洁剂处理洁净室表面、洁净室设备表面和洁净室中材料表面的特定清洁程度

ISO14644-14

根据悬浮颗粒物浓度评估设备使用的适用性

2016

设备在洁净室和相关受控环境中适用性的评估方法

ISO14644-15

通过悬浮化学物浓度评估设备和材料的适用性

2017

将用于洁净室及其相关受控环境中的设备和材料引起的化学物洁净度提出要求和指南

ISO14644-16

提高洁净室和净化设备能效的实施指南

2017（在编）

为新建和现有的洁净室、洁净区和分离设备提供优化能源使用和保持能源效率的指导和建议